电气wpe是什么意思
电气wpe:在离子注入制造工艺时,原子从掩模板的边沿开始扩散,在阱边附近的地方硅片表面变得密集。
结果就是,阱表面浓度会随着距离掩模板的边沿的远近而有所不同,因此整个阱的掺杂浓度是不均匀的。这种不均匀造成MOS管阈值电压的不同,还有其它的电性能也有所不同,它会随着距离阱边距离的不同而不同所示。这种现象就是我们常说的阱邻近效应(WPE:Well Proximity Effect)。
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